1、無刷電機驅(qū)動。

2、氮氣溫度控制。

3、轉(zhuǎn)軸氮氣密封。

4、可提用戶特殊要求配置。

5、去離子水電阻率監(jiān)控功能。

6、故障診斷、顯示、報警功能。

7、硅片甩干機具有鎖蓋防護功能。

8、腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼，電化學拋光處理。

9、彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控，可存儲多種工藝菜單。

10、硅片甩干機主要應(yīng)用于太陽能電池和半導(dǎo)體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié)，具有容量大、效率高的特點。